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《硅集成电路芯片工厂设计规范》（GB50809-2012）【全文附高清无水印PDF+DOC/Word版下载】
标准号：GB50809-2012
中文名称：硅集成电路芯片工厂设计规范
英文名称：Code for design of silicon integrated circuits wafer fab
适用范围：本规范适用于新建、改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计。
标准来源：本标准附带条文说明
发布日期：2012-10-11
实施日期： 2012-12-01
中国标准分类： P82(电子制造业工程)
国际标准分类： 31.200(集成电路、微电子学)
归口单位： 中华人民共和国工业和信息化部
PDF质量：高清晰无水印PDF+Word版【内容可复制、可编辑、可搜索】（官方正式版、完整版，共计：95P（页），PDF文档大小：5.184MB）
